EUV 光刻机光源

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  TEUS-S100

  EUV light source 技术规格

  主要规格

  激光平均功率100W

  最大脉冲重复率25kHz

  EUV光源可收集角度0.05sr

  带宽转化效率 (13.5 nm±1%) 辐射2% @2π·sr

  带宽ЕUV通量内角度收集碎片缓减系统 (13.5nm±1%)8.5mW

  带宽波段内碎片减缓系统的光谱亮度 (13.5nm±1%)90W/mm2·sr

  等离子大小*60um

  等离子稳定性**3% RMS

  设备使用周期和维护要求

  在运行模式下，无需使用特殊的膜过滤器，收集器寿 命可降解1%0not less than 12 months

  使用一种特殊的膜过滤器，在运行模式下运行，可降 第收集器寿命not less than 24 months

  每8个月保养一次8 hours

  24/7运行模式下的正常运行时间4 months

  电源，设备尺寸和规格

  电源6.5 kW

  尺寸(L×W×H)1400×1000×1200mm

  重量，包括激光配件770Kg

  设备要求

  房间清洁程度ISO7

  水流量10L/min

  
  

• 详细参数

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。