旋涂机

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  彩神iv争霸的高品质、全NPPPOLOS单晶片旋涂机专

  为MEMS、半导体、PV、微流体领域等领域的研发和小批量生产而设计。适用于所有典型的旋涂

  工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。

  
  

  
  

  这些市场上成熟的型号非常适合处理从直径为 2.5 毫米到 160 毫米/ 260毫米的小碎片或尺寸为100x100 毫米或 150x150 毫米的方形样品的各种基材。系统包括带注射器支架的透明盖子

  
  

  
  

  直径可达 300 毫米。 这些装置通过易于使用、可拆卸的彩色触摸屏进行操作，提供直观的编程和配方存储?？梢匝≡裉砑痈髦峙缱?、超音速清洗和分配线。所有旋涂机都标配有夹

  头。标准单元为NPP材料，PTFE单元为PTFE。

  
  

  
  

  
  

  SPIN150i 适用于长达 150 毫米的基材，包括免费的真空吸盘 A-V36 和片段适配器 D-V10。

  
  

  SPIN 旋涂机规格

  可编程 CW 和 CCW 以及搅拌旋转带传感器联锁的自动安全盖锁

  速度 0 rpm - 12,000 rpm，精度 +/- 0.1 rpm

  加速/减速 1 - 30,000 rpm/sec，每步可选

  
  

  POLOS Advanced 系列规格

  带传感器联锁的自动安全盖锁自动顺序或平行化学品分配

  
  

  多达 6 个喷嘴，每个喷嘴可独立编程

  
  

• 详细参数

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。