原子氧源

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  HD系列是建立在牛津应用研究在为科学界提供射频原子源的广泛经验之上的。最新系列的模型产生的中性光束具有极高的原子通量和零离子含量。原子只有热能，但却具有高度的活性。这保证了极高质量的材料快速增长，而没有与离子束处理相关的点缺陷。彩神iv争霸的源进一步被设计成多功能的，允许用户简单地完成不同气体和流动状态之间的变化.

  
  

  应用领域

  牛津应用研究公司的射频原子源被广泛应用于各种薄膜工艺的研究和全自动生产应用中。反应束的热特性确保了原子物种快速传

  递到衬底，而不会产生高能过程的有害后果。这使得该源非常适合生长高质量的氮化物和氧化物，以及使用原子氢进行低损害清

  洁。这些源在诸如GaInNAs、GaN、ZnO、超薄Al、介质氧化物、O薄膜和高k薄膜等应用中取得了巨大的成功.

  
  

  操作原理

  在射频原子源中，气体(如氮气)被引入全陶瓷腔(放电区)。等离子体是由应用电感耦合射频激励在放电区诱导。等离子体将原料气

  体分解成离子和中性反应原子，中性反应原子通过多孔的等离子体限制板进入过程室。带电粒子被保留在等离子体中。这些来源包括高效的水冷却，以确保操作过程中的污染最小。他们还具有等离子体的磁约束，以提高裂解效率，和一个超级高效的匹配网络，在最大运行功率下显示几乎为零的功率损耗。

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• 详细参数

  The HD series builds on Oxford Applied Research's extensive experience in providing radio frequency atomic sources to the scientific community. The latest series of models produces neutral beams with extremely high atomic flux and zero ion content. Atoms have only thermal energy, but are highly reactive. This ensures rapid growth of extremely high-quality materials without the point defects associated with ion beam processing. Our sources are further designed to be multifunctional, allowing the user to easily change between different gases and flow states.

  
  

  Application field

  Oxford Applied Research's RF atomic sources are widely used in research and fully automated production applications for a variety of thin film processes. The thermal properties of the reactive beam ensure fast transfer of atomic species

  to the substrate without the detrimental consequences of high-energy processes. This makes the source ideal for growing high-quality nitrides and oxides, as well as for low-damage cleaning using atomic hydrogen

  clean. These sources have achieved great success in applications such as GaInNAs, GaN, ZnO, ultrathin Al, dielectric oxides, O thin films, and high-k thin films.

  
  

  Principle of Operation

  In an RF atomic source, a gas, such as nitrogen, is introduced into an all-ceramic cavity (discharge area). Plasma is induced in the discharge region by applying inductively coupled RF excitation. Plasma will feed gas

  The bulk is broken down into ions and neutral reactive atoms, which enter the process chamber through a porous plasma confinement plate. Charged particles are retained in the plasma. These sources include efficient water cooling to ensure minimal contamination during operation. They also feature the magnetic confinement of the plasma for improved pyrolysis efficiency, and a super-efficient matching network that shows almost zero power loss at maximum operating power.

  
  

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。